第九五五章 交换专利

“大家以前不认识我,但应该认识鲲鹏软件集团公司吧?大家对上个月发明光刻机磁悬浮式双工作台系统的bse浸没式光刻机,一旦研制成功,bsec必将脱胎换骨。

    浸没式光刻系统是前世台积电林工程师的建议,被投入巨资研究f2准分子激光器的尼康和佳能等光刻机光源专家嗤之以鼻,但asml冒险采纳了这个建议,攻克了光刻机193nm波长的世界性光学难题,生产了全球第一台浸没式光刻机,一举成名!